Laboratorium Technologii Mikrosystemów IMiO

Laboratorium Technologii Mikrosystemów prowadzi prace w zakresie projektowania, konstrukcji, technologii oraz charakteryzacji hybrydowych elektronicznych i optoelektronicznych mikrosystemów przyszłych generacji. Rozbudowa laboratorium pozwoli na wytwarzanie i charakteryzację mikrosystemów MEMS i MOEMS w oparciu o najnowsze technologie i materiały oraz elementów optoelektronicznych i czujnikowych nowej generacji, przeznaczonych do stosowania w mikrosystemach hybrydowych. Ponadto laboratorium zapewni możliwości wytwarzania prototypów i krótkich serii nowatorskich mikroelektronicznych i optoelektronicznych mikrosystemów grubowarstwowych z zastosowaniem najnowszych technologii.