Laboratorium Przyrządów Mikroelektroniki i Nanoelektroniki IMiO

Laboratorium Przyrządów Mikoelektronki i Nanoelektroniki prowadzi prace badawcze w dziedzinie zaawansowanych technologii przyrządów półprzewodnikowych. Jego rozbudowa pozwoli na uruchomienie i opanowanie dotychczas niedostępnych w clean-roomie IMiO technologii suchego trawienia w plazmie chlorowej oraz wytwarzania ultracienkich warstw metalicznych i kompozytowych. Pozwoli to na znaczne poszerzenie tematyki badawczej realizowanej w laboratorium, w tym także w zakresie niestandardowych technologii struktur kwantowych, fotoniki krzemowej i struktur MEMS/MOEMS. Modernizacja pozwoli również na prowadzanie kompleksowej diagnostyki posługującej się pomiarami i analizą charakterystyk elektrycznych specjalnie do tego celu zaprojektowanych struktur testowych oraz właściwości optycznych zarówno samych warstw, jak też struktur i przyrządów mikro- i nanoelektronicznych, w tym przyrządów kwantowych oraz systemów MEMS i MOEMS. Podstawowe związki badane tymi metodami to zależności: prąd-napięcie, impedancja-napięcie oraz grupa pomiarów metodą pompowania ładunku.