W laboratorium od ponad dekady dokonywane są pomiary elektryczne struktur półprzewodnikowych oraz układów scalonych – obudowanych oraz nieobudowanych. Podstawowym elementem wyposażenia jest półautomatyczna stacja do pomiarów ostrzowych Summit 12000B-AP firmy Cascade Microtech (obecnie FormFactor). Umożliwia ona wykonywanie pomiarów na półprzewodnikowych płytkach podłożowych o średnicy do 200 milimetrów. Stacja może być kontrolowana przez przyrząd pomiarowy lub komputer, co pozwala na zaprogramowanie serii pomiarów, które zostaną powtórzone na każdej ze struktur wytworzonych na danej płytce podłożowej. Ekranowanie elektromagnetyczne stacji pozwala na pomiar prądów na poziomie pojedynczych femtoamperów. System kontroli temperatury umożliwia prowadzenie pomiarów w zakresie temperatur od -55C do +200C. Dzięki użyciu dedykowanych kart pomiarowych możliwe jest testowanie układów scalonych na płytce podłożowej. Stacja wyposażona jest obecnie w 6 manipulatorów DC do pomiarów prądowo-napięciowych oraz 2 manipulatory RF. Pomiary DC są obecnie prowadzone za pomocą charakteryzatora przyrządów półprzewodnikowych B1500A firmy Agilent (obecnie Keysight), natomiast do pomiarów RF służy wektorowy analizator obwodów (VNA) ZVL6 firmy Rohde & Schwarz.
Lokalizacja: Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki, Zakład Metod Projektowania w Mikroelektronice, Gmach Elektroniki im. prof. J. Groszkowskiego, sala 356A
Opiekun: dr inż. Dominik Kasprowicz