• zaawansowane technologie przyrządów półprzewodnikowych;
  • wytwarzanie ultra-cienkich warstw metalicznych i kompozytowych;
  • niestandardowe technologie struktur kwantowych, fotoniki krzemowej i struktur MEMS/MOEMS;
  • kompleksowa diagnostyka i analiza charakterystyk elektrycznych oraz właściwości optycznych struktur i przyrządów mikro- i nanoelektronicznych.

 

Kierownik Zakładu Przyrządów Mikroelektroniki i Nanoelektroniki
prof. dr hab. inż. Romuald B. Beck


tel: (+48) 22 234 7534
e-mail:
Gmach Elektrotechniki (GR), p. 337

Przejdź do strony zakładu: http://zpmin.imio.pw.edu.pl